mems.hu
Competencies | MEMS - Microtechnology Department
http://www.mems.hu/competencies
Research, Development, Manufacturing and Characterization. Pellistor type gas sensors for flammable gas detection. Tagouchi type gas sensors. 3D vectorial force and tactile sensors for automotive, robotic and medical applications. Microthermopiles for temperature monitoring. Thermopile antennas for detection of THz range radiation. Surface Acoustic Wave (SAW) devices. Cortical and deep brain elevtrodes for monitoring neural activity - NeuroMEMS. Microfluidic devices, Lab-on-a-Chip systems.
mems.hu
Staff/Contacts | MEMS - Microtechnology Department
http://www.mems.hu/staff
Leader- Department of Microtechnology. Team leader - BioMEMS group. Team leader - NEMS group. Team leader - NeuroMEMS group. KFKI Campus, Building 29. Address: Konkoly Thege út 39-33. H-1121 Budapest, Hungary. E-mail: dragon(at)mfa.kfki.hu. Konkoly Thege ut 29-33. H-1121 Budapest, Hungary. E-mail: dragon(at)mfa.kfki.hu. Web: www.mems.hu.
mems.hu
Publications | MEMS - Microtechnology Department
http://www.mems.hu/publications
Published research papers of Microtechnology Department (2005-2015). Posters presented at various scientific events (2015). Hungarian and international patents of Microtechnogy Department (2004-2015). Summary on the annual activity of Microtechnology Department (2004-2015). Konkoly Thege ut 29-33. H-1121 Budapest, Hungary. E-mail: dragon(at)mfa.kfki.hu. Web: www.mems.hu.
mems.hu
Projects | MEMS - Microtechnology Department
http://www.mems.hu/projects
High-resolution fingerprint sensing with vertical Piezoelectric nanowire MATrices - PiezoMAT. Intelligent Catheters in Advanced Systems for Interventions – INCITE. CAJAL4EU: Chip Architectures by Joint Associated Labs for EUropean diagnostics (2010-2013) - ENIAC JTI – 2009-1. Invention of mobile poliovirus diagnostic platform (2011-2013) - Melinda&Bill Gates Foundation Grand Challenges. Graphen based terahertz modulators (2013-2017). Wolfrám- és molibdénoxid vékonyrétegek gázérzékelők és elektrokróm réte...
mems.hu
Mission | MEMS - Microtechnology Department
http://www.mems.hu/mission
Research, development and system integration of micro- and nanosized physical, chemical, bioanalytical sensors and systems. Novel materials and nanostructures;. Novel 3D fabrication techniques;. Ion-solid interaction for supporting MEMS development. Research and development of physical, chemical/biochemical sensors and integrated systems:. R&D on micropellistor-type gas sensors, 3D force sensors, thermal sensors, gas flow sensors, using CMOS compatible and related techniques - MEMS. Ion beam analysis;.
mems.hu
Services | MEMS - Microtechnology Department
http://www.mems.hu/services
Clean room services in the MEMS Lab for our partners and customers:. Mask Design and Fabrication. Detailed price quote on each clean lab process can be requested by e-mail: dragon(at)mfa.kfki.hu. Mikrotechnológiai Kutatólabor hozzáférési szabályzata külső felhasználók számára. Technológiai folyamatok tájékoztató jellegű árlistája. Konkoly Thege ut 29-33. H-1121 Budapest, Hungary. E-mail: dragon(at)mfa.kfki.hu. Web: www.mems.hu.
mems.hu
MEMS Laboratory | MEMS - Microtechnology Department
http://www.mems.hu/node/1
As part of the Microtechnology Department. Of the Institute of Technical Physics and Material Sciences. Centre for Energy Research. Hungarian Academy of Sciences. We focus on research, development and system integration of physical, chemical/biochemical sensors and systems in the micro- and nanoscale. Kiemelkedő tudományszervezői, igazgatási, fenntartási, szolgáltatási vagy üzemeltetési munkájáért tizenhét akadémiai dolgozónak adta át az MTA Székházában,. Elnök jelenlétében, Török Ádám.
mems.hu
Lectures & Training | MEMS - Microtechnology Department
http://www.mems.hu/oktatas
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Vegyészmérnöki Kar:. Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Villamosmérnöki Kar:. Fizikai-, kémiai- és nanotechnológiák labor. Fizikai-, kémiai- és nanotechnológiák előadás. Érzékelők az orvosbiológiában előadás. Érzékelők, beavatkozók és megjelenítők előadás. Mikro- és nanotechnika előadás. Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, Gépészmérnöki Kar:. A segédanyagok jelszóval védettek! Konkoly Thege ut 29-33. H-1121 Budapest, Hungary.
mems.hu
Facilities | MEMS - Microtechnology Department
http://www.mems.hu/facilities
Curren; Laser Pattern Generator. Curren; Chromium mask design and manufacturing (4 - 7 inch). Curren; Direct wafer writing (3 - 6 inch). Curren; Substracting patterning. High aspect ratio SU-8 photoresist. Resolution below 20 nanometer (4-6 inch wafer). Technology and process simulations. Finit element modelling: mechanical, thermal, electric, fluid, dynamical, coupled modelling. SEM, TEM, AFM, EDS. Functional tests: mechanical, chemical, biochemical, fluidical, etc. Konkoly Thege ut 29-33.