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シグマテック株式会社精密位置決め装置の開発・製造・販売。最小分解能10nm・50nm・100nmコントローラ、直動・回転など各種のステージを用意。
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シグマ光機株式会社 株式会社日立製作所 中央研究所 株式会社ミツトヨ. 理化学研究所 東京大学 東京工業大学 大阪大学 神戸大学 他. 平成7年 0.1μm分解能のフィードバックステージシステムの製造 販売開始.
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